个人信息
Personal information
副教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：光学与电子信息学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
学科：光学工程曾获荣誉：
2019 光电学院“我最喜爱的教师班主任”
2019 我最喜爱的教师班主任
2020 华中科技大学“学术新人奖”
研究方向
中文主页
- 研究方向
高NA光刻缺陷检测系统光学设计
高NA光刻缺陷检测系统包含照明光学系统、高NA物镜系统、自动调焦系统等，基于上述光学系统可以实现待测半导体芯片硅片面几十纳米级缺陷的光学检测。