CN

曾双双ZENG SHUANG SHUANG

研究员(自然科学)    Supervisor of Doctorate Candidates    Supervisor of Master's Candidates

  • Professional Title:研究员(自然科学)
  • Gender:Male
  • Status:Employed
  • Department:IC College
  • Education Level:Postgraduate (Doctoral)
  • Degree:Doctoral Degree in Philosophy

Research Focus

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先进微纳加工技术应用

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应用最先进、主流的微纳加工技术,如光刻、电子束曝光、激光直写、反应离子刻蚀、湿化学刻蚀以及多种薄膜沉积技术等,制备满足预期性能需求的新型微电子器件。