先进微纳加工技术应用
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应用最先进、主流的微纳加工技术，如光刻、电子束曝光、激光直写、反应离子刻蚀、湿化学刻蚀以及多种薄膜沉积技术等，制备满足预期性能需求的新型微电子器件。
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应用最先进、主流的微纳加工技术，如光刻、电子束曝光、激光直写、反应离子刻蚀、湿化学刻蚀以及多种薄膜沉积技术等，制备满足预期性能需求的新型微电子器件。