新型纳米图案化技术
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采用固态纳米孔、纳米缝隙等在自支撑氮化硅薄膜制备得到的纳米结构为掩膜，实现免光刻胶和免化学溶剂的新型纳米图案化技术。
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采用固态纳米孔、纳米缝隙等在自支撑氮化硅薄膜制备得到的纳米结构为掩膜，实现免光刻胶和免化学溶剂的新型纳米图案化技术。