Personal information
研究员(自然科学) 博士生导师 硕士生导师
性别:男
在职信息:在职
所在单位:集成电路学院
学历:研究生(博士)毕业
学位:哲学博士学位
毕业院校:Uppsala University
应用最先进、主流的微纳加工技术,如光刻、电子束曝光、激光直写、反应离子刻蚀、湿化学刻蚀以及多种薄膜沉积技术等,制备满足预期性能需求的新型微电子器件。