Personal information
研究员（自然科学） 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：哲学博士学位
毕业院校：Uppsala University
采用固态纳米孔、纳米缝隙等在自支撑氮化硅薄膜制备得到的纳米结构为掩膜，实现免光刻胶和免化学溶剂的新型纳米图案化技术。
