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超硬保护薄膜工艺技术
基于氮化物、碳化物等材料特性,研究其薄膜制备工艺、薄膜结构、薄膜硬度、薄膜耐磨等性能,获取优质的超硬度保护薄膜的材料组份及工艺,应用于各种工具钢表面保护。
基于氮化物、碳化物等材料特性,研究其薄膜制备工艺、薄膜结构、薄膜硬度、薄膜耐磨等性能,获取优质的超硬度保护薄膜的材料组份及工艺,应用于各种工具钢表面保护。