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纳米光学测量技术与仪器
面向集成电路(IC)、有机显示(OLED)、柔性电子制造过程中的制造机理、工艺控制与良率管理等问题，研究具有高时空分辨的新型材料形性测量技术与仪器，实现IC、LED、OLED、PV、柔性电子等新型半导体光电材料的电学、光学、力学、动力学等物理特性动态表征测量。