Influence of room-temperature oxidation on stability and performance of reactively sputtered TaN thin films for high-precision sheet resistors
发布时间：2025-03-20
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- 论文类型：
- 期刊论文
- 第一作者：
- Mingzhen Zhang
- 通讯作者：
- Junjun Wei,Puqing Jiang,Ronggui Yang
- 合写作者：
- Yue Wang,Shangzhi Song,Ruiqiang Guo,Wenbin Zhang,Chengming Li
- 发表刊物：
- Surfaces and Interfaces
- 收录刊物：
- SCI
- 学科门类：
- 工学
- 一级学科：
- 动力工程及工程热物理
- 文献类型：
- J
- 卷号：
- 46
- 页面范围：
- 104088
- DOI码：
- 10.1016/j.surfin.2024.104088
- 发表时间：
- 2024-03-01