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机电系统动力学
主要面向集成电路制造装备、检测/量测设备、空天陆海高端装备等，开展光-机-电-热-磁-感-控一体的系统动力学建模、分析、优化设计等研究。
主要面向集成电路制造装备、检测/量测设备、空天陆海高端装备等，开展光-机-电-热-磁-感-控一体的系统动力学建模、分析、优化设计等研究。