李波
个人信息
副教授
硕士生导师
光学工程
性别:男
在职信息:在职
所在单位:光学与电子信息学院
毕业院校:华中科技大学
学科:电子科学技术光学工程
个人简介
长期从事极紫外光刻驱动光源、高性能气体激光器、光场调控及复合材料加工等方面的研究工作。主持国家级项目2项、企业委托项目6项。成功研制2-5kW直流激励轴快流CO2激光器,万瓦级射频激励轴快流CO2激光器,用于极紫外驱动的万瓦级激光放大器。获武汉市科技进奖一等奖一项,高水平论文20余篇,发明专利10余项,软件著作权11项,项目鉴定6项。完成了多项激光器产品产业化,广泛应用于机械加工、钢铁、船泊制造和军工等领域,创造了巨大的经济和社会效益。
教育经历
工作经历
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社会兼职
研究方向
- 目前国际上用于线宽7nm以下芯片制造技术的13.5nm极紫外光刻设备已经工业应用。光刻巨头ASML所采用的高功率CO2激光诱导等离子体产生13.5nm极紫外光源已经被验证为可行和有效的技术方案。我国02专项中的“极紫外光刻关键技术研究”也选定高功率CO2激光诱导等离子体为其极紫外光源产生方案。为满足批量光刻的需求,需要平均功率高达4万瓦,重频50kHz以上,脉宽10-30ns的CO2激光光源诱导等离子体产生极紫外光源。
高性能气体激光器
光场调控
目前,各种新型复合材料在航空航天、汽车、能源等领域得到应用,碳纤维复合材料具有比模量高、比强度高、比刚度高、韧性强、重量轻等优点,尤其受到重视。采用激光切割可以获得良好的切割质量。由于非金属符合材料对CO2激光吸收率高,采用CO2加工非金属符合材料具有极大的优势。为了避免热效应的影响,可以采用高峰值功率的脉冲CO2激光器,并结合径向偏振技术,实现复合材料的高速精密加工。
团队成员
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