江苏省制造强省建设专项资金重点产业技术创新项目,“明暗场共光路有图无图一体化半导体在线检测装备攻关项目”,2024-10至2026-10,600万(本人承担150万),在研,参与。
张江XX实验室课题项目,“无掩膜EUV直写光刻系统方案设计与性能仿真”,2024-09至2025-09,200万元,在研,主持。