Xue Kanhao

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铪基铁电材料的内建电场研究

基于铪氧化物的新型铁电材料由于工艺与微纳电子匹配,在下一代信息存储以及负电容晶体管等领域非常有发展潜力。然而,铪基铁电材料的稳定化机理,铁电性出现的原理,疲劳、击穿和印迹效应等方面仍缺乏理论支撑。特别是在10nm左右的铁电薄膜厚度下,内建电场的影响将十分明显。本小组引入新型电子结构计算方法DFT-1/2以及shell DFT-1/2,结合实验测量,探索铪基铁电材料的内建电场的成分、强度、机理,并进一步探索高可靠性铪基铁电电容的制备方法。