Xue Kanhao

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新型晶体管SPICE解析模型构建技术

集成电路产业的成功与进步,与恰当的晶体管解析模型(伯克利小组 BSIM 等)的使用息息相关。传统上,都由伯克利小组提供公开的 MOS 管模型,晶圆代工厂只进行参数提取。但面向极限微缩的器件以及新型的二维晶体管,理想的解析模型往往并不存在。晶圆代工厂不仅仅需要提取模型参数,也需要构建合适的模型。我们基于全新的准费米能级相空间技术(2022年发表于 Physical Review Applied),正在攻关晶体管解析模型自动提取技术,相关技术路线为国际上首创。针对物理环境更为复杂的二维晶体管器件,该方案也具备独特的优势。该方面将有望为晶圆代工厂提供全新的模型数学形式,以及定制化的解析模型,并同时提供配套的模型参数提取技术。