A fault detection and isolation (FDI) engine for manafacturing process
国家自然科学基金面上项目，61374139，带有批间控制器的混合产品批次过程监控和故障诊断， 2014/01-2017/12，79万元，已结题，主持国家自然科学基金面上项目，61074075，带有度量时延的半导体制程基于数据的批间容错控制， 2011/01-2013/12，主持
