A method for improving out-of-plane robustness of an area-changed capacitive displacement transducer used in a micro-accelerometer
- Journal:Sensors and Actuators, A: Physical
- ISSN No.:0924-4247
- Impact Factor:2.904
伍文杰 Associate professor
伍文杰，男，华中科技大学 物理学院副教授，Micromachines 编辑，自然科学基金委函评专家，IOP Trusted Reviewer，IEEE Member，中国微米纳米技术协会高级会员，光电子光子材料与器件学术会议学术委员。近五年作为负责人主持工信部高质量发展专项子课题、国家重点研发计划子课题、自然科学基金面上项目、自然科学基金青年基金、中国博士后特别资助（站中）、中国博士后科学基金等项目，总经费超过700万元。长期从事高端MEMS加速...Detials