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极大规模集成电路制造装备及成套工艺、准分子激光器放大腔的流场分析与注入锁定放大方法预研
点击次数：
负责人姓名：陆培祥
说明：440万元、结题、参加。
项目来源：国家重大专项
项目参与人员：左都罗,王新兵,朱海红等
项目编号：2009ZX2206
学科门类：工学
一级学科：光学工程
立项时间：2009-07-01
结项日期：2012-06-30
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负责人姓名：陆培祥
说明：440万元、结题、参加。
项目来源：国家重大专项
项目参与人员：左都罗,王新兵,朱海红等
项目编号：2009ZX2206
学科门类：工学
一级学科：光学工程
立项时间：2009-07-01
结项日期：2012-06-30