曹坤（Cao Kun，Associate Professor）

华中科技大学机械科学与工程学院副教授，硕士/博士生导师。主要研究方向为微纳制造领域，选择性原子层沉积原理、方法与装备等，应用于集成电路、光通讯光芯片等器件结构制造。以第一/通讯作者在Nature Communications、Small、Chemistry of Materials、ACS Materials Letters等国内外期刊发表SCI论文50余篇。获湖北省优秀科技论文，国际极端制造期刊IJEM年度最佳论文，J. Vac. Sci. Technol. A期刊年度“most read”论文等。相关研究成果获美国真空协会AVS，国际科技杂志C&EN封面专栏报道，受到台积电、三星、IMEC等企业跟踪研究与引用报道。授权国家发明专利20余项，参研项目获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明展评审团特别嘉许金奖等。国家重点研发计划课题负责人，主持国家自然科学基金面上项目、青年项目。作为技术骨干参与国基金重点项目/国际合作交流项目，湖北省创新群体项目等。