16) 陈蓉，邓章，曹坤，单斌，文艳伟. 一种原子层沉积前驱体输出装置: ZL201310585179.7[P].
14) 陈蓉，何文杰，段晨龙，褚波，单斌，文艳伟. 一种用于制作原子层沉积薄膜的可拆卸喷头及装置: ZL201310636874.1[P]. 2013-12-2
