华中科技大学主页平台管理系统甘志银--中文主页-- Molecular dynamics simulation of temperature effects on deposition of Cu film on Si by magnetron sputtering

甘志银

同专业博导同专业硕导

Personal information

教授博士生导师硕士生导师

性别：男

在职信息：在职

所在单位：机械科学与工程学院

学历：研究生(博士)毕业

学位：工学博士学位

毕业院校：华中科技大学

学科：机械制造及其自动化
曾获荣誉：
2006 华中科技大学优秀青年教工

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Molecular dynamics simulation of temperature effects on deposition of Cu film on Si by magnetron sputtering

发布时间：2019-05-30 点击次数：

论文类型：期刊论文
第一作者：Guo Zhu
通讯作者：Zhiyin Gan
发表刊物：Journal of Crystal Growth
收录刊物：SCI
文献类型：J
卷号：492
期号：15
页面范围：60-66