Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：机械科学与工程学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：华中科技大学
半导体技术；
计算物理；
MEMS/NEMS系统设计及仿真；
MEMS制造工艺与设备；
半导体工艺设备设计与制造；
半导体材料外延工艺；
