个人信息
Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：机械科学与工程学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：华中科技大学
学科：机械制造及其自动化曾获荣誉：
2006 华中科技大学优秀青年教工
Getter free vacuum packaging for MEMS
论文类型：期刊论文
第一作者：Zhiyin Gan
通讯作者：Sheng Liu
发表刊物：Sensors and Actuators A: Physical
收录刊物：SCI
卷号：149
期号：1
页面范围：159-164