Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：博士学位
毕业院校：华中理工大学
基于氮化物、碳化物等材料特性，研究其薄膜制备工艺、薄膜结构、薄膜硬度、薄膜耐磨等性能，获取优质的超硬度保护薄膜的材料组份及工艺，应用于各种工具钢表面保护。
