华中科技大学主页平台管理系统胡作启--中文主页-- 超硬保护薄膜工艺技术

基于氮化物、碳化物等材料特性，研究其薄膜制备工艺、薄膜结构、薄膜硬度、薄膜耐磨等性能，获取优质的超硬度保护薄膜的材料组份及工艺，应用于各种工具钢表面保护。