个人信息
Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：机械科学与工程学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：Florida Institute of Technology
学科：机械电子工程曾获荣誉：
2015 日内瓦国际发明金奖
2019 湖北省技术发明一等奖
研究方向
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集成电路IC制造在线缺陷检测技术与装备
面向10nm节点以下IC制程，研究图形化硅片与掩模缺陷跨尺度检测理论方法与技术，解决其中灵敏度、分辨力、检测速度等一系列挑战性难题，为批量化IC制造中“微米-亚微米-纳米”光刻硅片及掩模跨尺度缺陷在线检测提供有效的新原理、新途径和新工具。