个人信息
性别:男
在职信息:在职
所在单位:机械科学与工程学院
学历:研究生(博士)毕业
学位:工学博士学位
毕业院校:Florida Institute of Technology
学科:机械电子工程曾获荣誉:
2015 日内瓦国际发明金奖
2019 湖北省技术发明一等奖
个人简介
江浩(Jiang Hao, Professor),华中科技大学机械科学与工程学院及数字制造装备与技术国家重点实验室教授,博士生导师,是湖北省杰出青年基金获得者,中国光学学会光学测试专业委员会委员、光电技术专业委员会委员,中国仪器仪表学会光机电技术与系统集成分会理事,中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会理事,湖北省仪器仪表学会理事。2011年在美国佛罗里达理工学院获机械工程博士学位。2011年至2014年在美国德克萨斯大学阿灵顿分校任博士后研究员、兼职讲师。2014年10月起任职华中科技大学。
长期从事光刻成像理论与计算光刻技术、纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线缺陷检测技术与装备等方面的研究工作,致力于精密机械、光学工程、仪器科学、光电材料、集成电路等学科交叉融合的基础研究与产业应用。近年来,主持包括国家自然科学基金面上项目2项,国家重点研发计划子课题,湖北省杰出青年基金等多项科研项目。在Phys. Rev. B, Phys. Rev. E, IEEE Trans., AIAA J., Opt. Express, Opt. Lett.等国际期刊上发表SCI论文65篇,其中第一作者及通讯作者40余篇,获国内外发明专利10余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等荣誉。
其他联系方式
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教育经历
工作经历
社会兼职
研究方向
面向集成电路(IC)制造中光刻掩模设计优化难题,开展光刻成像建模、掩模设计优化、大规模计算机集群并行计算等研究,重点包括三维掩模模型及其半解析麦克斯韦求解算法、高NA矢量成像模型及其卷积变量分离求解算法、三维光刻胶模型及维纳非线性系统求解方法等理论方法研究与工程实践,为IC设计与制造提供桥梁与工具。
面向集成电路(IC)、有机显示(OLED)、柔性电子制造过程中的制造机理、工艺控制与良率管理等问题,研究具有高时空分辨的新型材料形性测量技术与仪器,实现IC、LED、OLED、PV、柔性电子等新型半导体光电材料的电学、光学、力学、动力学等物理特性动态表征测量。
面向10nm节点以下IC制程,研究图形化硅片与掩模缺陷跨尺度检测理论方法与技术,解决其中灵敏度、分辨力、检测速度等一系列挑战性难题,为批量化IC制造中“微米-亚微米-纳米”光刻硅片及掩模跨尺度缺陷在线检测提供有效的新原理、新途径和新工具。