|
-
微机电系统（MEMS）；微纳加工；惯性传感器；MEMS加速度计；MEMS微震仪；MEMS重力仪
- 暂无内容
- 发明名称：一种微机械万向开关的制造方法 发明人：刘骅锋，涂良成，严世涛，饶康，伍文杰 申请号：201810871365.X 申请日： 2018-08-02.
- 发明名称：一种微机械万向开关 发明人：刘骅锋，涂良成，胡宸源，王秋，渠自强 申请号：201810870754.0 申请日： 2018-08-02.
- 发明名称：一种三维微凸点的制备方法 发明人：范继，魏晓莉，刘金全，涂良成，刘骅锋，饶康 申请号：201810678848.8 申请日： 2018-06-27.
- 发明名称：一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计 发明人：刘骅锋，涂良成，王秋，胡方靖 申请号：201810720730.7 申请日： 2018-06-29.
- 发明名称：一种三分量海洋重力测量装置（实用新型） 发明人：余刚，涂良成，刘骅锋 申请号：201810309292.5 申请日： 2018-04-09，授权公告日：2019-02-12 授权公告号：CN 208488557U.
- 发明名称：一种三分量海洋重力磁力复合测量装置（实用新型） 发明人：余刚，涂良成，刘骅锋 申请号：201820497304.7 申请日： 2018-04-09，授权公告日：2018-12-07 授权公告号：CN 208207239U.
- 暂无内容
- 国家重点研发计划“智能传感器”专项课题 三轴加速度传感器高密度集成与高精度测控,2021YFB3201603,2021/12/01-
- 国家“载人航天与探月工程” 重大专项四期 “嫦娥七号月震仪”课题,6563B9C4E0C14BAB8BEB4D6D46C962A8,2021/04/01-
- 国家重点研发计划课题 基于MEMS（微机械）加速度计的旋转式航空重力梯度仪工程样机研制,2017YFC0601603,
- 三分量MEMS井中重力仪原理样机及数据处理软件研制,2018YFC0603301,
- 微型火星重力仪研制,CAST-BISEE2017-019,
- 光纤MEMS高精度相对重力测量研究,61871439,