华中科技大学主页平台管理系统 Liangcheng Tu--英文主页-- [6]. 发明名称：微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法；发明人：范继、涂良成、刘金全、王超；申请号/专利号：ZL201410464700.6，申请日：2014-09-12，授权公告日：2016-04-20

Liangcheng Tu

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[6]. 发明名称：微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法；发明人：范继、涂良成、刘金全、王超；申请号/专利号：ZL201410464700.6，申请日：2014-09-12，授权公告日：2016-04-20

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[7]. 发明名称：一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪，发明人：涂良成，唐世豪，范继，刘金全，申请号：201610003329.2，申请日： 2016-01-05，授权公告日：2017-12-08
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[5]. 发明名称：一种在SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法；发明人：张文婷、刘金全、涂良成；申请号/专利号：ZL201410340475.5，申请日：2014-07-17，授权公告日：2016-02-03