Liangcheng Tu

2025-5-11,Sunday

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[5]. 发明名称:一种在SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法;发明人:张文婷、刘金全、涂良成;申请号/专利号:ZL201410340475.5,申请日:2014-07-17,授权公告日:2016-02-03
Release time:2019-03-16  Hits: