文艳伟
个人信息
Personal information
副教授 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：材料科学与工程学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：理学博士学位
毕业院校：武汉大学
学科：材料学-
1. 原子层沉积理论及跨尺度模拟
原子层沉积技术在半导体精细制造中的重要性日益凸显，尤其是在高端芯片的先进制程进入埃米时代，高度集成化需要更复杂的3D结构沉积，对现有技术提出了重大挑战。文艳伟老师聚焦于是原子层沉积的表面反应、形核、动力学生长、选择性沉积等物理化学过程，采用密度泛函理论、分子动力学、蒙特卡洛模拟、计算流体力学等方法研究原子层沉积原理、沉积工艺及设备设计。
2. 机器学习辅助的材料结构设计
基于高通量计算数据，采用高效机器学方法对材料表面的吸附、反应进行预测，针对特定功能材料、分子进行快速筛选和设计；基于小样本实验数据，开发高可靠性的机器学习方法，对实验工艺进行优化。
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