华中科技大学主页平台管理系统颜浩--中文主页-- 超稳激光干涉仪研制

颜浩

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围绕高精度位移、角度、面形等需求，结合一体化粘接技术，研制超小型化全玻璃一体式激光干涉仪，位移精度达到皮米级，角度测量达到纳弧度级，广泛应用于精密定位、多自由度测量等。