基于微电子/光电子机械系统（MEMS/MOEMS）技术，运用多物理场耦合手段，围绕光场、声场调控，开展新型光学器件（如高动态性能液体透镜、多自由度MEMS微镜、连续面型MEMS变形镜等）和新型声学器件（光声换能器、微型压电超声换能器、微型MEMS扬声器、高灵敏度声学传感器等）结构设计、工艺制备、封装测试及系统应用方面的研究。