华中科技大学主页平台管理系统 WU WENJIE--英文主页-- 微加速度计中高灵敏度变面积阵列电容微位移传感研究

伍文杰 Associate professor

伍文杰，男，华中科技大学物理学院副教授，Micromachines 编辑，自然科学基金委函评专家，IOP Trusted Reviewer，IEEE Member，中国微米纳米技术协会高级会员，光电子光子材料与器件学术会议学术委员。近五年作为负责人主持工信部高质量发展专项子课题、国家重点研发计划子课题、自然科学基金面上项目、自然科学基金青年基金、中国博士后特别资助（站中）、中国博士后科学基金等项目，总经费超过700万元。长期从事高端MEMS加速...Detials

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微加速度计中高灵敏度变面积阵列电容微位移传感研究

Release time:2022-07-29 Hits:

Supported by:中国博士后基金会
Project level:National
Project Number:2017M622420
Date of Project Approval:2018-01-29
Scheduled completion time:2019-01-29
Subsidy Amount:5.0

Pre One: 基于MEMS（微机械）加速度计的旋转式航空重力梯度仪工程样机研制

Next One: 基于新型准零刚度结构的亚ng分辨率MEMS加速度计研究