基于新型准零刚度结构的亚ng分辨率MEMS加速度计研究
- Status:在研
- Supported by:中国博士后基金会
- Project level:National
- Project Number:2019T120660
- Date of Project Approval:2019-07-29
- Scheduled completion time:2020-12-29
- Subsidy Amount:18.0
Pre One:
微加速度计中高灵敏度变面积阵列电容微位移传感研究
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基于微悬臂原子力 光学测量的高分辨力加速度传感新机制