高NA光刻缺陷检测系统光学设计
高NA光刻缺陷检测系统包含照明光学系统、高NA物镜系统、自动调焦系统等，基于上述光学系统可以实现待测半导体芯片硅片面几十纳米级缺陷的光学检测。
闫力松 Associate professor
闫力松，华中科技大学光学与电子信息学院激光技术系副教授，博士生导师，主要研究方向包括自适应光学与先进探测、光刻缺陷检测系统光学设计及制造、光学干涉检测技术、AR及VR光学系统设计及检测、车载激光雷达实景成像技术等。主持国家自然科学基金项目及国防项目4项、国防横向及其他横向项目10余项，获得2020年华中科技大学“学术新人奖”。在Light、Optics Express、Optics and Lasers in Engineering、Applied Optics等期刊...Detials
高NA光刻缺陷检测系统包含照明光学系统、高NA物镜系统、自动调焦系统等，基于上述光学系统可以实现待测半导体芯片硅片面几十纳米级缺陷的光学检测。