曹坤(Cao Kun,Associate Professor)华中科技大学机械科学与工程学院副教授,硕士/博士生导师。主要研究方向为微纳制造领域,选择性原子层沉积原理、方法与装备等,应用于集成电路、光通讯光芯片等器件结构制造。以第一/通讯作者在Nature Communications...More+
职称:副教授
性别:男
所属院系:机械科学与工程学院
所在单位:机械科学与工程学院
学历:研究生(博士)毕业
学位:工学博士学位
学科:材料学机械电子工程
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