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第三届“科学探索奖(先进制造)”获得者

发布时间:2022-03-21
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成果名称:
面向集成电路5nm以下先进制程的原子尺度协同制造方法研究
获奖日期:
2021-03-09

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师