芯片先进制程三维亚纳米结构的构筑新原理与新方法
发布时间：2024-04-01
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- 项目来源单位：
- 自然科学基金委
- 项目分类：
- 国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目
- 研究类别：
- 国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目
- 项目来源：
- 国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目
- 项目编号：
- 52350349
- 立项时间：
- 2024-01-01
- 计划完成时间：
- 2026-12-31
- 结项日期：
- 2026-12-31
- 开始日期：
- 2024-01-01
- 项目批准号：
- 52350349
- 资助额度(万元)：
- 185.0