Multiscale CFD modelling for conformal atomic layer deposition in high aspect ratio nanostructures
发布时间：2023-12-22
点击次数：
- 论文类型：
- 期刊论文
- 第一作者：
- Yuanxiao Chen
- 通讯作者：
- Rong Chen
- 合写作者：
- Zoushuang Li,Zi’ao Dai,Fan Yang,Yanwei Wen,Bin Shan
- 发表刊物：
- Chem. Eng. J.
- 收录刊物：
- SCI
- 卷号：
- 14
- 页面范围：
- 4493
- 发表时间：
- 2023-07-19