Modular injector integrated linear apparatus with motion profile optimization for spatial atomic layer deposition
发布时间:2018-11-22
点击次数:
- 论文类型:
- 期刊论文
- 第一作者:
- Xiaolei Wang
- 通讯作者:
- Bin Shan, Rong Chen
- 合写作者:
- Yun Li, Jilong Lin
- 发表刊物:
- Rev. Sci. Instrum.
- 收录刊物:
- SCI
- 文献类型:
- J
- 卷号:
- 88
- 页面范围:
- 115108
- 发表时间:
- 2017-11-23