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Modular injector integrated linear apparatus with motion profile optimization for spatial atomic layer deposition

发布时间:2018-11-22
点击次数:
论文类型:
期刊论文
第一作者:
Xiaolei Wang
通讯作者:
Bin Shan, Rong Chen
合写作者:
Yun Li, Jilong Lin
发表刊物:
Rev. Sci. Instrum.
收录刊物:
SCI
文献类型:
J
卷号:
88
页面范围:
115108
发表时间:
2017-11-23

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师