Modular injector integrated linear apparatus with motion profile optimization for spatial atomic layer deposition
发布时间：2018-11-22
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- 论文类型：
- 期刊论文
- 第一作者：
- Xiaolei Wang
- 通讯作者：
- Bin Shan, Rong Chen
- 合写作者：
- Yun Li, Jilong Lin
- 发表刊物：
- Rev. Sci. Instrum.
- 收录刊物：
- SCI
- 文献类型：
- J
- 卷号：
- 88
- 页面范围：
- 115108
- 发表时间：
- 2017-11-23