论文类型：

期刊论文

第一作者：

Kun Cao

通讯作者：

Rong Chen

合写作者：

Jiaming Cai, Rong Chen, Xiao Liu

发表刊物：

J. Vac. Sci. Technol. A

收录刊物：

SCI

卷号：

36

页面范围：

010801

发表时间：

2018-11-23