Atomic Level Deposition to Extend Moore’s Law and Beyond
发布时间:2020-10-30
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- 论文类型:
- 期刊论文
- 通讯作者:
- Rong Chen
- 合写作者:
- Yicheng Li, Jiaming Cai, Kun Cao, Han-Bo-Ram Lee
- 发表刊物:
- Inter. J. Extreme Manufacturing
- 收录刊物:
- SCI
- 文献类型:
- J
- 卷号:
- 2
- 页面范围:
- 022002
- 发表时间:
- 2020-04-30