Inherent selective atomic layer deposition and applications
发布时间：2020-10-30
点击次数：
- 论文类型：
- 期刊论文
- 第一作者：
- Kun Cao
- 通讯作者：
- Rong Chen*
- 合写作者：
- Jiaming Cai
- 发表刊物：
- Chem. Mater.
- 收录刊物：
- SCI
- 文献类型：
- J
- 卷号：
- 32
- 页面范围：
- 2195
- 发表时间：
- 2020-02-26