Computational fluid dynamics study on spatial atomic layer deposition for the conformality of microgroove substrates
发布时间：2022-03-21
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- 第一作者：
- Zoushuang Li
- 通讯作者：
- Rong Chen,Cao Kun
- 合写作者：
- Xiaobo Li
- 发表刊物：
- Inter. J. Heat Mass Transfer
- 收录刊物：
- SCI
- 文献类型：
- J
- 期号：
- 181
- 页面范围：
- 121854
- 发表时间：
- 2021-03-09