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一种基片取放及转移装置

发布时间:2022-03-22
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所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
申请专利人:
李云,林骥龙,王晓雷,单斌,马玉春,巴伟明,陈蓉
发明设计人:
华中科技大学
专利类型:
发明
授权号:
ZL201710311755.7
发明人数:
5
授权日期:
2017-05-05
第一作者:
陈蓉

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师