一种多元物质原子层沉积薄膜制备方法及装置
发布时间：2022-03-22
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- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 申请专利人：
- 文艳伟,单斌,高玉乐,何文杰,褚波
- 发明设计人：
- 华中科技大学
- 专利类型：
- 发明
- 授权号：
- ZL201310636805.0
- 发明人数：
- 6
- 授权日期：
- 2013-12-02
- 第一作者：
- 陈蓉
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