Fabrication of size-controlled, spatially distributed nanoparticles by atomic layer deposition
发布时间：2022-03-22
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- 所属单位：
- 华中科技大学
- 学校署名：
- 华中科技大学
- 发明设计人：
- Rong Chen,Xirong Jiang,Marja N. Mullings,Yuji Saito
- 专利类型：
- PCT或外国申请
- 授权号：
- US8084087
- 发明人数：
- 5
- 授权日期：
- 2011-12-17
- 第一作者：
- Stacey F. Bent