个人信息
Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：华中科技大学(Huazhong University of Sci. and Tech.)
学科：微电子学与固体电子学曾获荣誉：
2019 湖北省自然科学奖三等奖
2014 Nature Index: 2014 China: 对学校自然指数的突出贡献
Comprehensive investigation on CF4/O2-plasma treating the interfaces of stacked gate dielectric in MoS2 transistors
论文类型：期刊论文
论文编号：8
第一作者：X. Song,
通讯作者：L. Liu,P. Lai
合写作者：J. P. Xu
发表刊物：Appl. Surf. Sci.
收录刊物：SCI
所属单位：华中科技大学
刊物所在地：英国
学科门类：工学
一级学科：电子科学与技术
项目来源：国家自然科学基金
文献类型：J
卷号：542
页面范围：148437
发表时间：2020-05-08
教研室：光学与电子信息学院