基于微悬臂原子力 光学测量的高分辨力加速度传感新机制
- Status:在研
- Supported by:中国科学技术部
- Supported by:National Key Technologies R&D Program
- Project level:National
- Project Number:2021YFB3201600
- Date of Project Completion:2024-10-29
- Date of Project Initiation:2021-11-29
- Subsidy Amount:238.0
Pre One:
基于新型准零刚度结构的亚ng分辨率MEMS加速度计研究
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面向亚ng精度MEMS加速度计的水平准零刚度结构研究