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专利
一种纳米颗粒空间原子层沉积连续包覆装置及方法
发布时间:2022-03-22
点击次数:
所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
申请专利人:
但威,李云,曲锴,巴伟明,陈蓉,单斌,邓章,周雪琪,曹坤,何文杰
发明设计人:
华中科技大学
专利类型:
发明
授权号:
ZL201710423764.5
发明人数:
6
授权日期:
2017-06-07
第一作者:
陈蓉,陈蓉
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一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机
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一种基于极坐标运动的高温3D打印机
陈蓉
人气:
教授 , 博士生导师 , 硕士生导师
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