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一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机

发布时间:2022-03-22
点击次数:
所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
申请专利人:
杨惠之,刘媛媛,李云,曹坤,邢泽华,史长春,段献宝,徐子又,单斌,胡镔
发明设计人:
华中科技大学
专利类型:
实用新型
授权号:
ZL201721525761.4
发明人数:
6
授权日期:
2017-11-16
第一作者:
陈蓉,陈蓉

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师