专利

当前位置: 中文主页 - 科学研究 - 专利

一种包覆纳米颗粒的原子层沉积装置及其方法

发布时间:2022-03-22
点击次数:
所属单位:
华中科技大学
学校署名:
华中科技大学
发明设计人:
段晨龙,文艳伟,竹鹏辉,巴伟明,单斌
专利类型:
发明
授权号:
ZL201510946119.2
发明人数:
6
授权日期:
2015-12-17
第一作者:
陈蓉

陈蓉

教授 , 博士生导师 , 硕士生导师